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該儀器集SF6濕度儀、SF6純度儀、SF6分解產物儀與一體，將原來要用三臺儀器才能實現的功能，集中在一臺儀器。一次現場測量，即可完成三項指標檢測，大大節省設備中的氣體，一次測量節省2/3氣體用量，同時減少用戶的工作量，提高了工作效率。
該儀器采用大液晶中文顯示，實現顯示各種參數，操作簡單，海量信息存儲，內置充電電池，交直流兩用。
一、主要性能特點
◆ 自動零點校準
◆ 電子流量顯示
◆ 測量數據打印
◆ 測量數據存儲
◆ 智能電量顯示
◆ 支持文件系統
◆ 儀器自診斷功能
◆ 圖形菜單
◆ 抗油污，防漂移
二、主要技術指標
A、SF6濕度：
測量范圍：露點-80℃ ～ +20℃，（支持ppmv等）
露點精度：±0.5℃（當露點溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點）
響應時間63％[90％] +20→-20℃ Td5s[45s] -20→-60℃ Td10s[240s]
分辨率：露點0.1℃或0.1ppm
重復性：±0.5℃
氣體流量：SF6調節在0.5～0.9L/min 0.9l/min
探頭保護：不銹鋼燒結過濾網
B、SF6純度：
測量范圍：0 ～99.99% SF6;
精度和重復性：：±0.05%,與流量無關；
響應時間：90%，30s；
C、SF6分解產物：
H2S：1 ～ 2000ppm
SO2：1 ～ 1000ppm
CO: 1 ～ 1000ppm
HF: 0 ～ 10ppm(可選)
精度：±0.5ppm
顯示方式：彩色5.7寸LCD顯示屏；
工作電壓：220VAC±10%，50Hz,交直流兩用，過充過放保護，
工作壓力：0～1.0MPa
樣氣流速：無影響
電子質量流量計
操作環境：-30～+60℃
尺寸：340×300×220mm
重量：4.0kg
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